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價格:電議
所在地:河南 鄭州市
型號:KT-Z1650PVD
更新時間:2024-06-28
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公司地址:鄭州高新技術產業(yè)開發(fā)區(qū)西三環(huán)路289號6幢11單元3層73號
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邱迎迎(女士)
大功率濺射儀,桌面式設計,觸摸屏控制,石英+不銹鋼腔體,濺射距離可調,自動電動擋板可保護樣品和清洗靶材。
離子鍍膜技術是PVD技術的一種,是指在PVD沉積過程中,被鍍材料形成金屬或者非金屬等離子體(如Ti離子,N離子),等離子體在偏壓電場的作用下,沉積在工件表面上。由于離子鍍過程中,離子的能量更強,離子繞射性更好,膜層的結合力更好,膜層致密性也更好,膜層性能更好。
離子鍍膜技術的應用非常廣泛,常見的有:裝飾性鍍膜,工具模具硬質鍍膜以及各種功能膜層。
大功率濺射儀技術參數(shù);
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控制方式 |
7寸人機界面 手動 自動模式切換控制 |
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濺射電源 |
直流濺射電源 |
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鍍膜功能 |
0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
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功率 |
≤1000W |
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輸出電壓電流 |
電壓≤1000V 電流≤1A |
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真空 |
機械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤5*10^-3Pa |
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濺射真空 |
≤30Pa |
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擋板類型 |
電控 |
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真空腔室 |
石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
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樣品臺 |
可旋轉φ62 (可安裝φ50基底) |
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樣品臺轉速 |
8轉/分鐘 |
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樣品濺射源調節(jié)距離 |
40-105mm |
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真空測量 |
皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa) |
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預留真空接口 |
KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 |
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