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RTP-1200C-200-SL 單工位大口徑快速退火爐

安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司
會(huì)員指數(shù): 企業(yè)認(rèn)證:

價(jià)格:電議

所在地:安徽 合肥市

型號(hào):RTP-1200C-200-SL

更新時(shí)間:2021-06-22

瀏覽次數(shù):1034

公司地址:安徽省合肥市高新區(qū)科學(xué)大道110號(hào)

謝女士(女士)  

產(chǎn)品簡介

該款設(shè)備是由單端封口小型紅外滑軌爐、 電機(jī)調(diào)速裝置、高真空機(jī)組、進(jìn)出氣口及操作控制界面組成

公司簡介

安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司是一家專注于新材料、新能源、高端裝備設(shè)備的研發(fā)生產(chǎn)與一體的高新技術(shù)企業(yè),合肥市科技小巨人培育企業(yè)。公司擁有多名專家顧問,其中千人一位,青年千人2位,教授3位。公司擁有400平米的重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,部分實(shí)驗(yàn)室對外開放。公司擁有31項(xiàng),其中發(fā)明6項(xiàng)、實(shí)用新型23項(xiàng)、外觀2項(xiàng)。涉及領(lǐng)域包括,石墨烯、碳納米管、高溫?zé)晒夥?、OLED有機(jī)小分子材料、PECVD系統(tǒng)等。公司產(chǎn)品有智能高低溫CVD系統(tǒng)、PECVD系統(tǒng)、各種真空氣氛管式爐、高低溫箱式爐、等離子清洗設(shè)備、RF濺射設(shè)備、各種壓力的手動(dòng)自動(dòng)壓片機(jī)、各種功能尺寸的手套箱、球磨機(jī)、氧化鋯齒科燒結(jié)爐等。
展開

產(chǎn)品說明

結(jié)構(gòu)與原理:

設(shè)備組成:單端封口小型紅外滑軌爐、 電機(jī)調(diào)速裝置、高真空機(jī)組、流量控制系統(tǒng)及工控電腦操作系統(tǒng)。

1、單端封口小型紅外滑軌爐:

該加熱系統(tǒng)采用國際先進(jìn)制造工藝,造型新穎結(jié)構(gòu)合理,爐體爐管可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)分離,爐體上下兩半設(shè)計(jì),氣動(dòng)彈簧支撐結(jié)構(gòu)讓操作者可各角度自由打開,安全可靠。爐膽采用高密度純氧化鋁聚輕纖維材料真空吸附成型,表面涂覆高反射率的超高溫保護(hù)涂層,除能夠保持其能量的最低損耗,還能增強(qiáng)高溫穩(wěn)定性,可有效減少熱能損耗。

該滑軌爐加熱系統(tǒng)由紅外燈管加熱,采用內(nèi)插熱電偶控溫的方式實(shí)時(shí)顯示石英腔體內(nèi)部溫度,加熱區(qū)長度為370mm,恒溫區(qū)長度200mm,確保兩個(gè)φ100*100mm的夾具可放置在恒溫區(qū)內(nèi),為讓樣品在爐管內(nèi)的中心位置,考慮石英置物架的高度,石英管管徑綜合考慮在210mm,恒溫區(qū)200mm內(nèi)的溫場均勻性控制在±5℃,升溫速率≤30℃/s, 整個(gè)石英腔體直接劃出爐膛,樣品降溫過程可在通入一定量保護(hù)氣體的條件下快速降溫,平均降溫速率可達(dá)到2℃/s, 試樣反應(yīng)區(qū)處在一個(gè)密閉的石英腔體內(nèi),在完成工藝的同時(shí)大大降低了間接污染試樣的可能性。采用石英管堵維持爐內(nèi)的溫場均勻性及石英艙體內(nèi)的潔凈度。

 

2、電機(jī)調(diào)速裝置

伺服電機(jī)調(diào)速裝置用于控制絲桿的轉(zhuǎn)動(dòng)速度,達(dá)到控制爐管部分的整體移動(dòng)速度(含樣件),以此調(diào)整快速升降溫的目標(biāo)速率,電機(jī)旋轉(zhuǎn)速度實(shí)時(shí)顯示并且精確可控,以獲得精確的移動(dòng)速度,滿足降溫時(shí)工藝參數(shù)要求。

 

3、主要參數(shù)

加熱系統(tǒng)

供電電源

220V,50Hz

額定功率

10KW

石英管尺寸

Φ210*370mm(爐管直徑可根據(jù)實(shí)際需要定制。)

爐膛材料

氧化鋁、高溫纖維制品

加熱原件

電阻絲

控溫精度

±5℃

熱電偶類型

K型熱電偶(內(nèi)插)

控制方式

該系統(tǒng)人機(jī)界面+PLC控制,10寸液晶屏顯,顯示器可直接顯示真空度、氣體流量、熱電偶溫度、電機(jī)旋轉(zhuǎn)速度等信息。

氣路系統(tǒng)

標(biāo)準(zhǔn)量程(N2)

1000sccm(可根據(jù)用戶要求定制)

準(zhǔn)確度

±1.5%

線性

±0.5~1.5%

重復(fù)精度

±0.2%

響應(yīng)時(shí)間

氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍

0.1~0.5 MPa

最大壓力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

工作環(huán)境溫度

5~45高純氣體 

真空系統(tǒng)

機(jī)械泵

抽氣速率:4L/S

容油量:1.1L

電機(jī)功率:400W~

極限壓強(qiáng):6×10-2Pa

分子泵

抽氣速率:100L/S

Pa

啟動(dòng)時(shí)間:<2min

額定轉(zhuǎn)速:4300轉(zhuǎn)/分

冷卻方式:環(huán)境溫度5-32℃時(shí),風(fēng)冷;5-40℃時(shí)看,水冷。

分子泵控制器

電壓:220V±22V

啟動(dòng)電流:≤7A

輸入頻率:47HZ—63HZ

最大輸出功率:≤150W

最大加速電壓:≤40V

加速時(shí)間:≤3min

頻率(雙速):高速705HZ±10HZ

         低速430HZ±5HZ

復(fù)合真空計(jì)

測量路數(shù):2路(電阻規(guī)、電離規(guī)各1路)

工作模式:手動(dòng)/自動(dòng)

電阻單元參數(shù)

規(guī)管型號(hào):ZJ-52T電阻規(guī)

測量范圍:1.0×105Pa~1.0×10-1Pa

有效范圍:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

控制范圍:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

電離單元參數(shù)

規(guī)管型號(hào):ZJ-27電離規(guī)

可測范圍:5.0Pa~1.0×10-5Pa

有效范圍:1.0Pa~5.0×10-5Pa

控制范圍:1.0Pa~5.0×10-5Pa

規(guī)管除氣方式:焦耳去氣

其他參數(shù)

控制路數(shù):4路

控制方式:點(diǎn)動(dòng)或區(qū)域控制/帶掉電記憶

控制精度:±1%

采樣時(shí)間:1S

電源:220V±10% 50HZ

功耗:50W

使用環(huán)境溫度:0℃~45℃

濕度:≤85%

連接管路

采用全不銹鋼,電拋光制作,零件焊接漏率優(yōu)于1.0×10-9Pa.m3/s


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