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BTF-1200C-II-SL-PECVD 前端預熱PECVD

安徽貝意克設備技術有限公司

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企業(yè)認證：

價格：電議

所在地：安徽合肥市

型號：BTF-1200C-II-SL-PECVD

更新時間：2021-06-22

瀏覽次數(shù)：936

公司地址：安徽省合肥市高新區(qū)科學大道110號

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產品簡介

我公司研制的滑軌式PECVD系統(tǒng)能使整個實驗腔體都處于輝光產生區(qū)，輝光均勻等效，這種技術很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài)，這樣離子化的范圍和強度是傳統(tǒng)PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象

公司簡介

安徽貝意克設備技術有限公司是一家專注于新材料、新能源、高端裝備設備的研發(fā)生產與一體的高新技術企業(yè)，合肥市科技小巨人培育企業(yè)。公司擁有多名專家顧問，其中千人一位，青年千人2位，教授3位。公司擁有400平米的重點實驗室，部分實驗室對外開放。公司擁有31項，其中發(fā)明6項、實用新型23項、外觀2項。涉及領域包括，石墨烯、碳納米管、高溫熒光粉、OLED有機小分子材料、PECVD系統(tǒng)等。公司產品有智能高低溫CVD系統(tǒng)、PECVD系統(tǒng)、各種真空氣氛管式爐、高低溫箱式爐、等離子清洗設備、RF濺射設備、各種壓力的手動自動壓片機、各種功能尺寸的手套箱、球磨機、氧化鋯齒科燒結爐等。

展開

產品說明

該款設備是全自動Plasma增強CVD系統(tǒng)（PECVD），系統(tǒng)可以實現(xiàn)連續(xù)滑動溫區(qū)，連續(xù)可控制溫度及Plasma強度。PECVD是借助于輝光放電等方法產生等離子體，輝光放電等離子體中：

1、電子密度高10⁹-10¹²cm³電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍，使含有薄膜組成的氣態(tài)物質發(fā)生化學反應，從而實現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術。

2、通過反應氣態(tài)放電，有效地利用了非平衡等離子體的反應特征，從根本上改變了反應體系的能量供給方式低溫熱等離子體化學氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點，工藝流程簡單

一、前端預熱器

使用溫度	400℃
爐膛材料	氧化鋁、高溫纖維制品
熱電偶類型	K型熱電偶
控溫精度	±1℃
控溫方式	30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定，操作界面為7”工控電腦，內置PLC控制程序，可將溫控系統(tǒng)、滑軌爐滑動（時間和距離）設定為程序控制。
加熱長度	100mm
加熱原件	電阻絲

二、加熱爐

最高溫度	1200℃
使用溫度	≤1100℃
爐膛有效尺寸	Φ100mm（適用于2-3英寸樣品，爐管直徑可根據(jù)實際需要定制。）
爐膛材料	氧化鋁、高溫纖維制品
熱電偶類型	K型熱電偶
控溫精度	±1℃
控溫方式	30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定，操作界面為7”工控電腦，內置PLC控制程序。
加熱長度	440mm
恒溫長度	200mm
加熱原件	電阻絲
供電電源	單相，220V，50Hz

三、PE系統(tǒng)

功率輸出范圍	0W~500W
最大反射功率	100W
射頻輸出接口	50 Ω, N-type, female
功率穩(wěn)定度	≤5W
諧波分量	≤-50dbc
供電電壓	單相交流（187V-253V）頻率50/60HZ
整機效率	>=70%
功率因素	>=90%
冷卻方式	強制風冷
功率輸出范圍	0W~500W
最大反射功率	100W
射頻輸出接口	50 Ω, N-type, female
功率穩(wěn)定度	≤5W
諧波分量	≤-50dbc
供電電壓	單相交流（187V-253V）頻率50/60HZ
整機效率	>=70%
功率因素	>=90%
冷卻方式	強制風冷

四、三路質子流量控制系統(tǒng)

連接頭類型	雙卡套不銹鋼接頭
標準量程（N₂)	50sccm，100sccm、500sccm（可根據(jù)用戶要求定制）
準確度	±1.5%F.S
線性	±1%F.S
重復精度	±0.2%F.S
響應時間	氣特性：1～4 sec，電特性：10 sec
工作壓差范圍	0.1～0.5 MPa
最大壓力	3MPa
接口	Φ6,1/4''
顯示	4位數(shù)字顯示
工作環(huán)境溫度	5~45高純氣體
壓力真空表	－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止閥	Φ6
內外雙拋不銹鋼管	Φ6

五、低真空機組

空氣相對濕度	≤85%
工作環(huán)境	5℃～40℃
工作電電壓	220V±10% 50~60HZ
功率	1KW
抽氣速率	10m3/h
極限真空	5X10^-1Pa
工作壓力范圍	1.01325X10⁵～1.33X10^-2Pa
耐壓值	0.03MPa
容油量	1.1L
進氣口口徑	KF25
排氣口口徑	KF25
噪音	50dB
連接方式	采用波紋管，手動擋板閥與波紋管相連

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