產(chǎn)品簡介
多晶硅片清洗機(jī)硅片清洗加工設(shè)備,可廣泛用于IC生產(chǎn)及半導(dǎo)體元器件生產(chǎn)中晶片的濕法化學(xué)工藝。型號:CGB-XXXXXX系列,品牌:華林嘉業(yè)CGB
產(chǎn)品說明
多晶硅片清洗機(jī)
硅片清洗加工設(shè)備,可廣泛用于IC生產(chǎn)及半導(dǎo)體元器件生產(chǎn)中晶片的濕法化學(xué)工藝。型號:CGB-XXXX—XX系列,品牌:華林嘉業(yè)—CGB。該設(shè)備適用于2英寸、3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸硅晶圓片的清洗腐蝕,德國進(jìn)口磁白PP板經(jīng)雕刻后熱彎/焊接組合加工;該設(shè)備可有效去除晶片表面的有機(jī)物、顆粒、金屬雜質(zhì)、自然氧化層及石英、 塑料等附件器皿的污染物,且不破壞晶片表面特性。 可用于完成擴(kuò)散前、光刻后、CMP后及氧化前等工藝的清洗工作。例如:RCA清洗、SPM清洗、SC清洗、金屬離子及雜物去除清洗等。 ◇全自動硅片清洗機(jī) ◇手動硅片清洗機(jī)有需求此方面設(shè)備的朋友,歡迎來電咨詢
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