全自動(dòng)離子濺射鍍膜儀 庫(kù)號(hào)：D346248

東方化玻（北京）科技有限公司成立于 2014 年，是實(shí)驗(yàn)設(shè)備、平臺(tái)綜合解決方案提供商。公司為國(guó)內(nèi)企事業(yè)單位 提供高品質(zhì)儀器儀表，實(shí)驗(yàn)設(shè)備以及整體解決方案。 公司與國(guó)內(nèi)外多家世界生產(chǎn)商已建立長(zhǎng)期合作關(guān)系。公司經(jīng)營(yíng)產(chǎn)品廣泛，靈活滿足不同事業(yè)單位和企業(yè)客戶的差異化需求 以及快速創(chuàng)新的追求，產(chǎn)品故障率低，維護(hù)成本小，性能優(yōu)異，售后服務(wù)完善。公司產(chǎn)品在行業(yè)內(nèi)均擁有持續(xù)的應(yīng)用歷史并 經(jīng)過(guò)市場(chǎng)實(shí)際應(yīng)用檢驗(yàn)。 堅(jiān)持以持續(xù)技術(shù)創(chuàng)新為客戶不斷創(chuàng)造價(jià)值為經(jīng)營(yíng)理念，公司在產(chǎn)品研發(fā)方面投入比例逐年遞增，目前自主研發(fā)并投入市場(chǎng) 的產(chǎn)品已達(dá)十余種，長(zhǎng)期以來(lái)，公司一直按照標(biāo)準(zhǔn)，搭建實(shí)驗(yàn)室平臺(tái)，構(gòu)建高品質(zhì)、高標(biāo)準(zhǔn)、持續(xù)創(chuàng)新的發(fā)展體系。 堅(jiān)持穩(wěn)步發(fā)展的管理理念，不斷刷新自己在業(yè)內(nèi)的記錄。

全自動(dòng)離子濺射鍍膜儀 庫(kù)號(hào)：D346248
全自動(dòng)離子濺射鍍膜儀 庫(kù)號(hào)：D346248
全自動(dòng)離子濺射鍍膜儀 庫(kù)號(hào)：D346248
技術(shù)參數(shù)：

1.樣品倉(cāng)尺寸： 120mm x 120mm，高強(qiáng)度不銹鋼玻璃結(jié)構(gòu)；

2.樣品臺(tái)：可放置12個(gè)標(biāo)準(zhǔn)SEM樣品座，可調(diào)高度優(yōu)于 50mm；

3.濺射頭：低電壓平面磁控管，靶材換快速，環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩；

4.濺鍍優(yōu)點(diǎn)：基于微處理器反饋控制，遠(yuǎn)程電流/電壓感應(yīng)；提供真空聯(lián)鎖裝置，大180A，配有過(guò)流保護(hù)；

5.濺射控制：微處理器控制，互鎖，可調(diào)，大電流40mA，程序化數(shù)字控制；

6.靶材可選：Au、Pt、Ag、Cr、Cu、Fe等；

7.鍍膜均勻性好，電流回路控制，低壓直流冷態(tài)濺射鍍膜，避免樣品微納結(jié)構(gòu)熱損傷；

8.真空系統(tǒng)：真空值優(yōu)于10-3mbar，機(jī)械泵抽速可達(dá)4.0m3/h

9.電源：200-240 VAC, 50/60Hz

樣品倉(cāng)尺寸 120 mm x 120mm, 高強(qiáng)度硼硅酸鹽鋼化玻璃結(jié)構(gòu) (可選150mm)

樣品臺(tái) 可放置12個(gè)SEM樣品座，可調(diào)高度優(yōu)于 60mm

濺鍍優(yōu)點(diǎn) 基于微處理器反饋控制，遠(yuǎn)程電流/電壓感應(yīng)；提供真空聯(lián)鎖裝置，

大180A，配有過(guò)流保護(hù)

濺射控制 程序化數(shù)字控制，恒流設(shè)計(jì)

濺射頭 低電壓平面磁控管，靶材換快速，環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩

靶材 標(biāo)配金或鉑，可選金/鈀，鉑/鈀, 銀, 銅, 鎳, 鐵等

濺射速率 優(yōu)于2.3nm/s (根據(jù)不同條件可調(diào))

真空系統(tǒng) 原裝真空泵, 降噪減震設(shè)計(jì), 10-3mbar真空度

適用配套 Thermo Fisher/FEI, Shimadzu, Carl Zeiss, JEOL, Hitachi, Tescan, Phenom等

電鏡和電子探針系統(tǒng)以及電極薄膜制備

序號(hào) 名稱 描述 數(shù)量

1 108A主機(jī) 高性能離子濺射鍍膜儀是用于掃描電鏡非導(dǎo)電樣品的鍍膜設(shè)備。經(jīng)濟(jì)緊湊型設(shè)計(jì)容易操作，提供了快速抽真空時(shí)間，鍍膜設(shè)計(jì)和對(duì)樣品無(wú)熱損傷。 的互鎖技術(shù)提供了可靈活設(shè)定不會(huì)受真空壓力影響的濺射電流。 通過(guò)一個(gè)低壓磁控管進(jìn)行冷態(tài)濺射，噴鍍。 1

2 靶材 Pt鉑靶 1

3 樣品倉(cāng) 120mm x 120mm，高強(qiáng)度硼硅酸鹽鋼化玻璃結(jié)構(gòu) 1

4 樣品臺(tái) 可放置12個(gè)SEM樣品臺(tái)，可調(diào)高度為60mm 1

5 操作手冊(cè) 中/英文操作手冊(cè); 1

6 泵 高性能真空泵系統(tǒng)

4m3每小時(shí)抽速，10-3mbar真空度，附帶減震墊的桌面式設(shè)計(jì) 1

7 KF16連接裝置 全金屬連接耦合系統(tǒng) 1

8 油污過(guò)濾器 進(jìn)口高性能油污過(guò)濾器 1



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