晶圓測溫系統(tǒng)TC Wafer半導(dǎo)體晶圓溫度檢測監(jiān)測是將高精度溫度傳感器鑲嵌在晶圓表面，對晶圓表面的溫度進(jìn)行實(shí)時測量。通過晶圓的測溫點(diǎn)了解特定位置晶圓的真實(shí)溫度，以及晶圓整體的溫度分布，同還可以監(jiān)控半導(dǎo)體設(shè)備控溫過程中晶圓發(fā)生的溫度變化，獲得升溫、降溫以及恒溫過程期間的溫度溫度數(shù)據(jù)，從而了解半導(dǎo)體設(shè)備的溫度均

合肥智測電子有限公司，成立于2003年2月16日，位于安徽省合肥市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)科技實(shí)業(yè)園。
公司專業(yè)致力于計量校準(zhǔn)、電子測量技術(shù)，研發(fā)生產(chǎn)校準(zhǔn)儀器、檢測儀器、傳感器等。
公司產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于計量、質(zhì)檢、科教、工業(yè)、電力、生物醫(yī)學(xué)、食品、倉儲、運(yùn)輸?shù)阮I(lǐng)域，為眾多行業(yè)和產(chǎn)品提供一站式的全面解決方案，滿足用戶對品質(zhì)的高要求，提升企業(yè)競爭優(yōu)勢。
同時，公司是世界著名的電子測量儀器公司Fluke的核心經(jīng)銷商，是英國michelle儀表公司、美國英思科氣體檢測公司以及美國FLIR熱像儀公司授權(quán)代理商。為用戶提供的測試儀器及計量校準(zhǔn)技術(shù)信息,助您與世界同步。

地址：安徽合肥市高新區(qū)香樟大道168號科技實(shí)業(yè)園D7棟

電話：13671920162

晶圓測溫系統(tǒng)TC Wafer半導(dǎo)體晶圓溫度檢測監(jiān)測
工作原理
晶圓測溫系統(tǒng)利用熱電效應(yīng)來測量溫度。其基本原理是在晶圓表面埋入微小的熱電偶元件，當(dāng)晶圓表面溫度發(fā)生變化時，熱電偶產(chǎn)生微弱的電壓信號。通過測量這些電壓信號，可以準(zhǔn)確地計算出晶圓的溫度變化。
晶圓測溫系統(tǒng)通過探針與晶片之間的熱電偶效應(yīng)來測量溫度。熱電偶是一種基于熱電效應(yīng)的傳感器，它可以將溫度轉(zhuǎn)化為電壓信號。當(dāng)探針與晶片接觸時，熱電偶會產(chǎn)生一個電壓信號，該信號被控制器接收并轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號。然后，數(shù)字信號被發(fā)送到顯示屏上進(jìn)行顯示。

產(chǎn)品特點(diǎn)

半導(dǎo)體制造廠 Fab，PVD/CVD 部門、RTP 部門等使用。

傳感器可以定制。

高精度多通道數(shù)據(jù)采集儀。

優(yōu)異的軟件功能，方便數(shù)據(jù)統(tǒng)計、趨勢繪圖和數(shù)據(jù)導(dǎo)出。

產(chǎn)品優(yōu)勢

高精度：由于其直接嵌入在晶圓表面，可以實(shí)現(xiàn)對晶圓溫度的實(shí)時、精確監(jiān)測。

可靠性：傳感器材料穩(wěn)定，適應(yīng)長期運(yùn)行，不易受到外界干擾。

高靈敏度：微小的溫度變化也能被傳感器準(zhǔn)確地捕捉，確保制程的穩(wěn)定性。

即時性：傳感器的實(shí)時性能使得生產(chǎn)線上的溫度調(diào)整能夠迅速響應(yīng)，減少生產(chǎn)過程中的溫度波動。

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