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STACIS ? III TMC 主動(dòng)隔振系統(tǒng)

森泉(上海)光電科技有限公司
會(huì)員指數(shù): 企業(yè)認(rèn)證:

價(jià)格:電議

所在地:上海

型號(hào):STACIS ? III

更新時(shí)間:2024-09-24

瀏覽次數(shù):908

公司地址:上海市楊浦區(qū)國(guó)定路335號(hào)2號(hào)樓1902室

吳(女士)  

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

TMC 主動(dòng)隔振系統(tǒng)STACIS ? III 是一種靈活的主動(dòng)隔振系統(tǒng)。STACIS 采用的慣性振動(dòng)傳感器、復(fù)雜的控制算法和壓電執(zhí)行器,通過連續(xù)測(cè)量地板活動(dòng),然后擴(kuò)展和收縮壓電執(zhí)行器以濾除地板運(yùn)動(dòng),實(shí)時(shí) xiao, 除 振動(dòng)。

公司簡(jiǎn)介

森泉光電有限公司代理和經(jīng)銷的產(chǎn)品種類十分豐富,涉及到激光、光學(xué)、光電子、光通訊、微機(jī)電、自動(dòng)化、物理、化學(xué)、電子、生物、農(nóng)業(yè)等等領(lǐng)域,可為科研及企業(yè)用戶提供光學(xué)實(shí)驗(yàn)及檢測(cè)的全套解決方案,并提供全面的售前、售中、售后支持與服務(wù)。
展開

產(chǎn)品說明

TMC 主動(dòng)隔振系統(tǒng)
STACIS ® III 是一種靈活的主動(dòng)隔振系統(tǒng)。STACIS 采用慣性振動(dòng)傳感器、復(fù)雜的控制算法和先進(jìn)的壓電執(zhí)行器,通過連續(xù)測(cè)量地板活動(dòng),然后擴(kuò)展和收縮壓電執(zhí)行器以濾除地板運(yùn)動(dòng),實(shí)時(shí) xiao 除 振動(dòng)。
STACIS 一開始的設(shè)計(jì)用于隔離先進(jìn)半導(dǎo)體工廠中的精密微光刻、計(jì)量和檢測(cè)設(shè)備,現(xiàn)在是嘈雜環(huán)境中敏感儀器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解決方案,包括但不限于半導(dǎo)體工廠、故障分析實(shí)驗(yàn)室、納米技術(shù)研究、納米制造設(shè)施, 和材料研究。
STACIS III 包括一個(gè)新的和改進(jìn)的數(shù)字控制器 DC-2020。憑借新的雙核處理器和以太網(wǎng)以及前后面板上的 U,S,B 串行端口,這種新的 gao 級(jí) 控制系統(tǒng)為用戶提供了現(xiàn)代且易于使用的圖形用戶界面 (GUI)。STACIS 在 quan 球 有數(shù)百個(gè)成功安裝案例,是對(duì)振動(dòng)敏感的儀器的理想隔振系統(tǒng)。

TMC 主動(dòng)隔振系統(tǒng)
STACIS III 的優(yōu)勢(shì)
STACIS 的剛度是空氣隔振器的數(shù)百倍,不受空氣隔振系統(tǒng)的任何限制。沒有“軟”懸掛,與主動(dòng)空氣系統(tǒng)不同,STACIS 可以放置在帶有內(nèi)部主動(dòng)空氣隔離系統(tǒng)的工具下方,兩個(gè)系統(tǒng)都經(jīng)過充分優(yōu)化。
du 特 的串行設(shè)計(jì)和專有的高壓壓電技術(shù)
產(chǎn)生了從 0.6 Hz 到 150 Hz 的寬主動(dòng)帶寬和 wu 與 lun 比 的真正主動(dòng)隔振,從 2 Hz 開始減振 90%。

表現(xiàn)

4500 lbs (2045 kg) you 效 載荷在 VC-C(500 μin./s,12.5 μm/s RMS)下通過模擬振動(dòng)測(cè)試

TMC 主動(dòng)隔振系統(tǒng)
規(guī)格
性能規(guī)格
活動(dòng)自由度 6
活動(dòng)帶寬 0.6 赫茲 - 150 赫茲
無源固有頻率 18 Hz 垂直和水平
tyou 效 有源諧振頻率 0.5赫茲
1 Hz 時(shí)的隔離 40% - 70%
≥2 Hz 時(shí)的隔離 ≥90%
10 lb (4.5 kg) 階躍輸入后的穩(wěn)定時(shí)間(10:1 減少) 0.3 秒
內(nèi)部噪音 <0.1 納米 RMS
每個(gè)隔離器的工作負(fù)載范圍 低容量:400-1100 磅(182-500 千克) 中
容量:900-2100 磅(410-955 千克)
高容量:1900-4500 磅(864-2045 千克)
剛度(1000 磅/454 千克質(zhì)量,中等容量隔離器) 40,000 磅/英寸。(73 x 10 5牛/米)
從隔離器很大的 4 英寸(102 毫米)處發(fā)射的磁場(chǎng) <0.02 μG 寬帶 RMS

隔離器設(shè)計(jì)、尺寸以及環(huán)境和公用設(shè)施要求
環(huán)境與 an 全 符合 CE 和 RoHS
主動(dòng)隔離元件 很小的容量為 3300 lb. (1500 kg) 的壓電執(zhí)行器接收來自高壓放大器的信號(hào),輸出電壓高達(dá) 800 VDC。垂直致動(dòng)器支持隔離的 you 效 載荷。
無源隔離元件 單一剛性各向同性彈性體(無需壓縮空氣供應(yīng))
振動(dòng)傳感器元件 向下的地震檢波器型慣性傳感器測(cè)量隔離器下方的地面振動(dòng)并提供與振動(dòng)運(yùn)動(dòng)速度成正比的電壓
主動(dòng)反饋控制回路 在支撐隔離表面的彈簧下方測(cè)量、處理和衰減地板振動(dòng)
隔離器尺寸 (WxDxH) 11.75 x 12.5 x 10.8 英寸
300 x 320 x 275 毫米
隔離器重量 75 磅(34 公斤)
工作溫度 50° - 90° F
10° - 32° C
儲(chǔ)存溫度 -40° - 130° F
-40° - 55° C
濕度 80% 很大的值在 68 華氏度(20 攝氏度),很大的露點(diǎn):18 攝氏度
系統(tǒng)電源要求 100、120、230、240 伏交流電
50/60 赫茲交流電;<600 W
符合 CE 標(biāo)準(zhǔn)
地板位移 <480 微英寸。(12 μm) 低于 10 Hz
每個(gè)系統(tǒng)的隔離器數(shù)量 至少 3 個(gè)
選項(xiàng) 層壓不銹鋼平臺(tái)、框架、立管、調(diào)平裝置、抗震裝置、升降機(jī)罩

DC-2020 控制器規(guī)格
尺寸(寬x深x高) 19 x 8.5 x 1.75 英寸
483 x 216 x 45 毫米
重量 6.3 磅(2.9 公斤)
處理器 150/75 MHz 雙核
采樣率 10 赫茲
模擬輸出 16通道
模擬輸入 16通道
狀態(tài)燈 單燈
前面板端口 1x 串行 U,S,B 2.0
1x 串行 Micro-U,S,B
1x 以太網(wǎng) RJ-45
2x BNC
后面板端口 1x 串行 U,S,B 2.0
1x 以太網(wǎng) RJ-45
1x RS-232 DB-9 傳統(tǒng)串行用于傳統(tǒng) STACIS 2100 隔離器
用戶界面 前面板 LCD 顯示
chao 級(jí) 終端
擴(kuò)展 GUI上的字符菜單Microsoft Windows
Embedded Ethernet GUI

森泉為您的科研事業(yè)添磚加瓦:

激光控制:激光電流源、激光器溫控器、激光器控制、伺服設(shè)備與系統(tǒng)等等

探測(cè)器:光電探測(cè)器、單光子計(jì)數(shù)器、單光子探測(cè)器、CCD、光譜分析系統(tǒng)等等

定位與加工:納米定位系統(tǒng)、微納運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、多維位移臺(tái)、旋轉(zhuǎn)臺(tái)、微型操作器等等

光源:半導(dǎo)體激光器、固體激光器、單頻激光器、單縱模激光器、窄線寬激光器、光通訊波段激光器、CO2激光器、中紅外激光器、染料激光器、飛秒超快激光器等等

光機(jī)械件:用于光路系統(tǒng)搭建的 gao 品 zhi 無應(yīng)力光機(jī)械件,如光學(xué)調(diào)整架、鏡架、支撐桿、固定底座等等

光學(xué)平臺(tái):主動(dòng)隔振平臺(tái)、氣浮隔振臺(tái)、實(shí)驗(yàn)桌、剛性工作臺(tái)、面包板、隔振、隔磁、隔聲綜合解決方案等等

光學(xué)元件:各類晶體、光纖、偏轉(zhuǎn)鏡、反射鏡、透射鏡、半透半反鏡、濾光片、衰減片、玻片等等

染料:激光染料、熒光染料、光致變色染料、光致發(fā)光染料、吸收染料等等



本頁(yè)產(chǎn)品地址:http://m.mingjiewl.com/sell/show-9215923.html
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