美國(guó)實(shí)驗(yàn)室光刻系統(tǒng)使用的172nm 的波長(zhǎng)。不需要傳統(tǒng)的光刻膠，對(duì)幾乎任何的有機(jī)聚合物材料都可以光刻。不需要傳統(tǒng)的涂膠、烘烤、曝光、顯影、清洗等的流程和時(shí)間。高分辨率、高強(qiáng)度、率、低成本。在實(shí)驗(yàn)室就可以實(shí)現(xiàn)光刻，而無(wú)需到半導(dǎo)體工廠(chǎng)，使用大型和昂貴的刻蝕機(jī)。操作簡(jiǎn)單，幾乎無(wú)需培訓(xùn)。

華賀公司是一家為企業(yè)及科研客戶(hù)提供測(cè)試測(cè)量解決方案的高新技術(shù)企業(yè)。致力于國(guó)內(nèi)外電子測(cè)試測(cè)量領(lǐng)域產(chǎn)品的交匯整合，集研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售為一體，在所涉足的技術(shù)和行業(yè)領(lǐng)域，以客戶(hù)的應(yīng)用為出發(fā)點(diǎn)，向客戶(hù)提供從產(chǎn)品到系統(tǒng)的全面和增值的解決方案。

華賀的核心業(yè)務(wù)包括：

• 為客戶(hù)提供測(cè)試測(cè)量技術(shù)咨詢(xún)，以及恰當(dāng)?shù)臏y(cè)試方案
• 各種測(cè)試設(shè)備及相關(guān)器材的供應(yīng)
• 軟硬件系統(tǒng)集成服務(wù)
• 測(cè)試測(cè)量產(chǎn)品的設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)
• 產(chǎn)品的維修、校準(zhǔn)服務(wù)

美國(guó)實(shí)驗(yàn)室光刻系統(tǒng)(Photo-Lithograghy)

 

品牌名稱(chēng)：Cygnus（小天鵝）

系統(tǒng)名稱(chēng)：π 2 -CYGNI

品牌口號(hào)：Smallest lab in the world

可提供項(xiàng)目：

? 系統(tǒng)銷(xiāo)售

? 光刻服務(wù)

? 掩膜板銷(xiāo)售

? 樣機(jī)展示、培訓(xùn)

美國(guó)實(shí)驗(yàn)室光刻機(jī)簡(jiǎn)述：使用的172nm 的波長(zhǎng)。不需要傳統(tǒng)的光刻膠，對(duì)幾乎任何的有機(jī)聚合物材料都可以光刻。不需要傳統(tǒng)的涂膠、烘烤、曝光、顯影、清洗等的流程和時(shí)間。高分辨率、高強(qiáng)度、率、低成本。在實(shí)驗(yàn)室就可以實(shí)現(xiàn)光刻，而無(wú)需到半導(dǎo)體工廠(chǎng)，使用大型和昂貴的刻蝕機(jī)。操作簡(jiǎn)單，幾乎無(wú)需培訓(xùn)。

特點(diǎn)：

? 新一代真空紫外(VUV)光源波長(zhǎng)：170nm

? 輸出強(qiáng)度高: 7.2eV/光子

? 高光輸出均勻性： 3%

? 燈壽命長(zhǎng): 曝光可達(dá)30,000次

? 不要超凈間、無(wú)需復(fù)雜昂貴的光學(xué)平臺(tái)

? 操作簡(jiǎn)單、快速

? 體機(jī)小巧

美國(guó)實(shí)驗(yàn)室光刻機(jī)目標(biāo)實(shí)驗(yàn)室：大學(xué)、科研院所，進(jìn)行芯片、傳感器、電路研究的如下實(shí)驗(yàn)室

? 半導(dǎo)體材料和工藝研究

? 物理：微機(jī)電、納米、存儲(chǔ)、芯片研究、傳感器

? 化學(xué)：材料研究，刻蝕、光刻、清洗

? 光電

? 材料科學(xué)

? 生物：微流控，生物芯片

? 醫(yī)學(xué)：微流控，生物/醫(yī)學(xué)芯片

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