蘇州汶顥微流控技術(shù)股份有限公司（原名：蘇州汶顥芯片科技有限公司）是一家留學(xué)人員回國創(chuàng)業(yè)的高新科技企業(yè)，集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體，技術(shù)力量雄厚，生產(chǎn)設(shè)備先進，檢測手段齊全，產(chǎn)品質(zhì)量過硬。公司建立了完備的微流控芯片研發(fā)與生產(chǎn)中心，配置了三條微流控芯片生產(chǎn)線，包括數(shù)控CNC微加工儀器，軟刻蝕有機芯片加工系統(tǒng)，光刻-掩模無機芯片加工系統(tǒng)，可以加工生產(chǎn)所有材質(zhì)的芯片，如玻璃、石英、硅、PDMS和PMMA等。產(chǎn)品涵蓋集成式通用醫(yī)療診斷芯片、集成式通用環(huán)境保護分析監(jiān)測芯片、集成式通用食品安全分析檢測芯片和基于微流控芯片的新能源體系四大系列數(shù)十個品種，以及各類科研類芯片，并在生物芯片和化學(xué)芯片領(lǐng)域一直保持技術(shù)和研發(fā)的領(lǐng)先地位，擁有81項知識產(chǎn)權(quán)，其中：已申請發(fā)明專利65件、實用新型專利7件，注冊商標2件，登記軟件著作權(quán)7件。

光刻機產(chǎn)品名稱：

光電URE-2000A型光刻機

光刻機產(chǎn)品特點：

◆ 曝光面積：150mm×150mm

◆ 分辨力：0.8-1μm（膠厚2μm的正膠）

◆ 對準精度：0.6μm

◆ 掩模樣片整體運動范圍：X：6mm;Y:6mm

◆ 掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸

◆ 樣片尺寸：直徑15mm-- 150mm；厚度0.1mm--8mm

◆ 照明均勻性： 3.5%（100mm 范圍）； 5%（ 150mm范圍）

◆ 掩模相對于樣片運動行程：X: 5mm; Y: 5mm; : 6度

◆ zui大膠厚：500m(SU8膠，用戶提供勻膠條件)

◆ 光源平行性：3.5

◆ 汞燈功率：1000W（直流）

◆ 曝光設(shè)定方式：定時（方式0.1s-999.9s任意設(shè)定）

◆ 外形尺寸:1400mm（長）1200mm(寬) 2150mm（高）

光刻機技術(shù)參數(shù) 配置:

（1）曝光頭

◆冷光橢球鏡

◆1000W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗,長壽命型)

◆XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺

◆光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡1

、準直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（100個透鏡）、i線濾光片

、場鏡1、場鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2

◆冷卻風(fēng)扇

◆循環(huán)水冷系統(tǒng)

（2）對準工件臺

◆掩模樣片整體運動臺

◆掩模樣片相對運動臺

◆轉(zhuǎn)動臺

◆樣片調(diào)平機構(gòu),自動完成

◆樣片調(diào)焦機構(gòu)，自動調(diào)

◆承片臺4個（2英寸、3英寸、4英寸、6英寸）

◆掩模夾4個（3英寸、4英寸、5英寸、7英寸）

◆基片抽拉式上下機構(gòu)

（3）對準顯微鏡

◆光源（配備品2只）、電源

◆雙目雙視場對準顯微鏡主體

◆目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個）

◆物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個）

（4）CCD對準系統(tǒng)

◆光源（配備品3只）、電源

◆成像光學(xué)系統(tǒng)

◆數(shù)據(jù)采集卡

◆CCD

（5）電控系統(tǒng)

◆汞燈觸發(fā)電源(1000W直流汞燈)

◆單片機控制系統(tǒng)

◆控制柜桌

◆計算機系統(tǒng)及液晶顯示器(21寸寬屏)

（6）氣動系統(tǒng)

◆氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等

◆電磁閥驅(qū)動

◆氣動儀表

（7）其他附件

◆真空泵一臺（無油泵）

◆空壓機一臺（靜音泵）

◆管道

（8）技術(shù)資料

◆使用維修說明書

◆顯微鏡使用說明書