產(chǎn)品簡介
PLD脈沖激光沉積系統(tǒng)介紹: PLD是將脈沖激光透過合成石英窗導(dǎo)入真空腔內(nèi)照射到成膜靶上，靶被照射后吸收高密度能量而形成的plume狀等離子體狀態(tài)，然后被堆積到設(shè)在對面的基板上而成膜。PLD方法可以獲得擁有熱力學(xué)理論上準穩(wěn)定狀態(tài)的組成和構(gòu)造的人工合成新材料。
公司簡介
深圳市海川科學(xué)儀器有限公司位于廣東深圳寶安區(qū)專業(yè)從事NMB傳感器、AB傳感器、富林泰克傳感器，我們具有多年的NMB傳感器相關(guān)產(chǎn)品與服務(wù)的銷售和經(jīng)驗。憑借專業(yè)的技術(shù)，誠信的經(jīng)營，和不斷創(chuàng)新的精神公司發(fā)展迅速。在發(fā)展的同時公司不忘不斷總結(jié)不斷優(yōu)化為客戶的服務(wù)，和一如既往的熱情贏得了新老客戶的極高評價及青睞。深圳市海川科學(xué)儀器有限公司咨詢聯(lián)系人雷先生,13265860509
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產(chǎn)品說明
具體技術(shù)參數(shù)配置:
1.靶: 數(shù)量6個，大小1-2英寸，被激光照射時可自動旋轉(zhuǎn)，靶的選擇可通過步進電機控制;
2.基板:采用適合于氧氣環(huán)境鉑金加熱片，大小2英寸，加熱溫度可達1200攝氏度，溫度差<3%，加熱時基板可旋轉(zhuǎn)，工作環(huán)境zui大壓力是300mtorr;
3.基板加熱電源，zui高到1200度;
4.超高真空成膜室腔體:不銹鋼sus304材質(zhì)，內(nèi)表面電解拋光，本底真空度<5e-8 pa;
5.樣品搬運室:不銹鋼sus304材質(zhì)，內(nèi)表面電解拋光，本底真空度<5e-5 pa;
6.排氣系統(tǒng):分子泵和干式機械泵;
7.閥門: 采用超高真空擋板閥;
8.真空檢測:真空計;
9.氣路兩套: 采用氣體流量計控制;
10.薄膜生長監(jiān)控系統(tǒng): 采用掃描型差分RHEED;
11.監(jiān)控軟件系統(tǒng):基板溫度的監(jiān)控和設(shè)定，基板和靶的旋轉(zhuǎn)，靶的更換等;
12.各種電流導(dǎo)入及測溫端子;
13.其它各種構(gòu)造:各種超高真空位移臺，磁力傳輸桿，超高真空法蘭，超高真空密封墊圈，超高真空用波紋管等;
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