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SCG-4 供應(yīng)SCG系列探針臺(tái)

深圳市森美協(xié)爾科技有限公司
會(huì)員指數(shù): 企業(yè)認(rèn)證:

價(jià)格:電議

所在地:廣東 深圳市

型號(hào):SCG-4

更新時(shí)間:2017-02-15

瀏覽次數(shù):1013

公司地址:深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道恒豐工業(yè)城C1棟3樓

吳先明(先生)  

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

本公司長(zhǎng)期供應(yīng)SCG系列探針臺(tái),高低溫真空系統(tǒng),采用液氮制冷。

公司簡(jiǎn)介

 深圳市森美協(xié)爾科技有限公司位于廣東深圳寶安區(qū)專業(yè)從事電子、機(jī)械、探針臺(tái)、高低溫沖擊系統(tǒng),我們具有多年的電子相關(guān)產(chǎn)品與服務(wù)的銷售和經(jīng)驗(yàn)。憑借專業(yè)的技術(shù),誠(chéng)信的經(jīng)營(yíng),和不斷創(chuàng)新的精神公司發(fā)展迅速。在發(fā)展的同時(shí)公司不忘不斷總結(jié)不斷優(yōu)化為客戶的服務(wù),和一如既往的熱情贏得了新老客戶的極高評(píng)價(jià)及青睞。
展開

產(chǎn)品說明

 
低溫和高溫真空探針臺(tái)
SEMISHARE真空環(huán)境高低溫測(cè)試技術(shù)
以下兩個(gè)應(yīng)用需要真空測(cè)試環(huán)境。
低溫測(cè)試:
因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí),空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上,會(huì)導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電而使測(cè)試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走,并且保持整個(gè)測(cè)試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
高溫?zé)o氧化測(cè)試:
當(dāng)晶圓加熱至300,400,500℃甚至更高溫度時(shí),氧化現(xiàn)象會(huì)越來越明顯,并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤差,物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測(cè)試前用泵抽走,并且保持整個(gè)測(cè)試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。 
晶圓測(cè)試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象,定位好的探針與器件電間會(huì)有相對(duì)位移,這時(shí)需要針座的重新定位,SEMISHARE針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來調(diào)整探針的位置。
 
SCG-C-4(閉循環(huán))/SCG-O-4(開循環(huán))特點(diǎn):
載物Chuck 溫度范圍:4K-500K        
外置4個(gè)定位針臂,預(yù)留2個(gè)
探針X-Y-Z三方向移動(dòng),行程:25.4mm,定位精度:10微米
多可以外置6個(gè)定位針臂
載物chuck zui大可到8英
雙屏蔽chuck高低溫時(shí)達(dá)到100FA 的測(cè)試精度
針臂定位精度可以升級(jí)為0.7微米
可以選擇射頻配件做zui高67 GHz的射頻測(cè)試
可以選擇防震桌
可以選擇超高真空腔體,限真空到10-10 torr
客戶訂制
 
溫控規(guī)格:  
控溫范圍
4K-500K
控溫精度
0.001K
溫度穩(wěn)定性
4 K        + - 0.1 K
 
77 K     + - 0.1 K
 
373 K    + - 0.08 K
 
473 K       + - 0.1 K
 
823 K       + - 0.2 K(可選)
 
973 K    + - 1.0K(可選)
常溫到8K冷卻時(shí)間:
1小時(shí)40分鐘
8K到常溫升溫時(shí)間:
1小時(shí)30分鐘
 從常溫開始的升溫時(shí)間          
473K       823K        973K
 (4 chuck,單位分:秒)
25:00      55:00        70:00
電源
直流
材質(zhì)
SS304
功率(4chuck) 
50/100W
      
機(jī)械規(guī)格                               
 針座行程
 X軸方向
25.4mm(1 inch)
 
可以選擇50.8mm 
 Y軸方向
25.4mm(1 inch)
 
可以選擇50.8mm 
 Z軸方向
25.4mm(1 inch)
 
可以選擇50.8mm 
移動(dòng)精度
 
 X軸方向
10 micron
 
可以選擇0.35,0.7,5,10 or 20 micron
 Y軸方向
10 micron
 
可以選擇0.35,0.7,5,10 or 20 micron
 Z軸方向
10 micron
 
可以選擇0.35,0.7,5,10 or 20 micron
 探針可旋轉(zhuǎn)角度(應(yīng)用于射頻測(cè)試) 
+-5 
   
 
光學(xué)部件規(guī)格
顯微鏡X-Y軸方向行程
2"*2"
 
可以選擇4"*4"
總共放大倍率
240
 
可以選擇更高倍率
真空腔觀察窗口
4 inch
 
外部石英材質(zhì)99%紅外線穿過率
 
內(nèi)部吸收紅外線僅可見光通過
光源
150W可連續(xù)調(diào)節(jié)
雙光纖導(dǎo)引
 
可選附件
防震桌
方形chuck
分子泵組
射頻部件
Chuck可外部移動(dòng)裝置
客戶定制。

本頁(yè)產(chǎn)品地址:http://m.mingjiewl.com/sell/show-6576011.html
免責(zé)聲明:以上所展示的[SCG-4 供應(yīng)SCG系列探針臺(tái)]信息由會(huì)員[深圳市森美協(xié)爾科技有限公司]自行提供,內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由發(fā)布會(huì)員負(fù)責(zé)。
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