1、可連接多個沉積源，沉積源的加載和更換方便；
2、帶有可視窗口和易于清洗的鐘形玻璃罩；
3、氣動升降鐘形罩；
4、300 l/s 渦輪泵，愛德華真空泵（RV-8，6.9cfm）；
5、可監(jiān)控沉積速率和沉積厚度；
6、自診斷、集成觸摸屏，控制手套箱、鐘形罩和蒸鍍，包括自動泵、排氣和內(nèi)部診斷；
7、旋轉(zhuǎn)臺高度、傾斜度和旋轉(zhuǎn)速率可調(diào)，易于觀測，方便更換遮罩、基板；
8、4小時內(nèi)可達(dá)到真空度：5*10-7托；

9、對于許多應(yīng)用，在20-30分鐘內(nèi)，當(dāng)真空度達(dá)到約5*10-5時，開始沉積；
10、根據(jù)用戶要求訂制。