自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀/橢圓偏振測(cè)厚儀/測(cè)厚儀 型號(hào)：TP-TPY-2
產(chǎn)品特點(diǎn)：
儀器采用消光法自動(dòng)測(cè)量薄膜厚度和折射率，具有度高、靈敏度高以及自動(dòng)控制等特點(diǎn)。光源采用氦氖激光器，功率穩(wěn)定波長度高。
儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件功能齊，具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式，適用于不同用戶的需要。
規(guī)格與主要指標(biāo)：
測(cè)量范圍：薄膜厚度范圍1nm-4000nm 折射率范圍：1-10
測(cè)量zui小示值：≤1nm 入射角：20°- 90°度≤0.05°
度盤刻度：每格1度 允許樣品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm
偏振器步進(jìn)角：0.014°/步 偏振器方位角范圍：0°- 180°
測(cè)量膜厚和折射率重復(fù)性度分別為：0.5nm和0.005
儀器測(cè)量度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm時(shí)）
光學(xué)中心高度：80mm
成套性：主機(jī)、電控系統(tǒng)、USB接口、配套軟件（需配計(jì)算機(jī)）
主機(jī)重量：26kg 外形尺寸：680*390*310mm
裝箱單
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序號(hào) |
名 稱 |
規(guī)格或型號(hào) |
數(shù)量 |
備 注 |
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1 |
自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀主機(jī) |
TP-TPY-2 |
1臺(tái) |
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2 |
主機(jī)電控箱 |
TP-TPY-2 |
1臺(tái) |
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3 |
Q9連接線 |
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1根 |
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4 |
數(shù)據(jù)連接線 |
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1根 |
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5 |
電源線 |
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2根 |
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6 |
15線連接電纜 |
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1根 |
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7 |
USB連接電纜 |
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1根 |
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8 |
二氧化硅膜樣片 |
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1張 |
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９ |
軟件安裝盤 |
TP-TPY-2 |
1張 |
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10 |
使用說明書 |
TP-TPY-2 |
1份 |
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11 |
裝箱單 |
TP-TPY-2 |
1份 |
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12 |
產(chǎn)品合格證 |
TP-TPY-2 |
1份 |
