雙電測四探針檢測儀 型號:MHY-25871
概述
MHY-25871型雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測-改進形范德堡測量方法測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設計符合單晶硅物理測試方法標準并參考美國 A.S.T.M 標準。利用電流探針、電壓探針的變換，進行兩次電測量，對數(shù)據(jù)進行雙電測分析，自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響，它與單電測直線或方形四探針相比，大大提高度，特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。 
儀器成套組成：由主機、選配的四探針探頭、測試臺以及PC軟件等部分組成。
主機主要由恒流源、高分辨率ADC、嵌入式單片機系統(tǒng)組成，USB通訊接口。儀器主機所有參數(shù)設定、功能轉換全部采用數(shù)字化鍵盤和數(shù)碼開關輸入；具有零位、滿度自校功能；測試功能可自動/手動方式；儀器操作可由配套軟件在PC機上操作完成，也可脫PC機由四探針儀器面板上操作完成。測試結果數(shù)據(jù)由主機數(shù)碼管直接顯示，也可連機由軟件界面同步顯示、分析、保存和打??！
探頭選配：根據(jù)不同材料特性需要，探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭，以測試硅類半導體、金屬、導電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻；也有球形鍍金銅合金探針探頭，可測柔性材料導電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導電膜（ITO膜）或納米涂層等半導體材料的電阻率/方阻。換上四端子測試夾具，還可對電阻器體電阻、金屬導體的低、中值電阻以及開關類接觸電阻進行測量。
測試臺選配：一般四探針法測試電阻率/方阻配HAD-A或HAD-B或HAD-C或HAD-F型測試臺。
詳見《四探針儀器、探頭和測試臺的特點與選型參考》
儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、測量簡便、結構緊湊、使用方便等特點。
儀器適用于半導體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對導體、半導體、類半導體材料的導電性能的測試，特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。
三、基本技術參數(shù)
3.1  測量范圍
電阻率：1×10-4～2×105 Ω-cm，分辨率：1×10-5～1×102 Ω-cm
方  阻：5×10-4～1×106 Ω/□，分辨率：5×10-5～1×102 Ω/□
電  阻：1×10-5～2×105 Ω   ，分辨率：1×10-6～1×102 Ω
3.2  材料尺寸(由選配測試臺決定和測試方式?jīng)Q定)
直    徑：HAD-A圓測試臺直接測試方式 Φ15～130mm，手持方式不限
HAD-B/C/F方測試臺直接測試方式180mm×180mm，手持方式不限.
長(高)度：測試臺直接測試方式 H≤100mm,    手持方式不限.
測量方位: 軸向、徑向均可