隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，對計量技術(shù)的要求越來越高，尤其是當(dāng)代宇航和天文等技術(shù)的發(fā)展，要求計量向納米技術(shù)發(fā)展，納米計量和標(biāo)定技術(shù)成為目前各學(xué)科必須解決的問題。因此外儀器計量部門都在研究和生產(chǎn)各種納米級準(zhǔn)確度的計量儀器，并探討其標(biāo)定和校正方法，以滿足科學(xué)技術(shù)發(fā)展的需要。近幾年來，各國相繼研制成功了各種納米量級的測微儀，它們包括激光干涉儀、電容測微儀和電感測微儀，這些測微儀雖然已經(jīng)在許多學(xué)科及部門得到了廣泛應(yīng)用，有的測微儀的準(zhǔn)確度到底如何?就目前的方法是無法進(jìn)行測定的。另外，還有一些微位移進(jìn)給器件，例如壓電陶瓷等，雖然應(yīng)用范圍很廣，但其非線性和位移準(zhǔn)確度如何?有時也沒有可靠的檢測手段。

一、基于有基準(zhǔn)的儀器校正技術(shù)

有基準(zhǔn)方法是傳統(tǒng)的對比儀器校正，此方法在儀器計量部門對各種新設(shè)備的標(biāo)定、舊設(shè)備的校正以及各個學(xué)科的實(shí)際工程技術(shù)測量中都得到了廣泛的應(yīng)用。

有基準(zhǔn)儀器校正法的基本原理是：對于任何被測量新的或在用過程中的檢測設(shè)備，為了確定其測量結(jié)果的可靠性，通常采用比被測量準(zhǔn)確度更高等級的檢測設(shè)備，準(zhǔn)確地標(biāo)定其在測量范圍內(nèi)的測量準(zhǔn)確度、分辨力、穩(wěn)定性等性能指標(biāo)。從該方法的原理看出，對于長度計量的位移傳感器的儀器校正技術(shù)，必須解決兩個關(guān)鍵性問題：一是具有更高等級準(zhǔn)確度、更高分辨力的測微系統(tǒng)；二是能夠提供足夠小的達(dá)到測微系統(tǒng)分辨力的微位移機(jī)構(gòu)。只有滿足了上述兩個條件，才能真正對測微系統(tǒng)的分辨力、準(zhǔn)確度、穩(wěn)定性等性能指標(biāo)給予的評價。對于具有有效測量面積位移傳感器的測微系統(tǒng)，采用這種原理進(jìn)行標(biāo)定的方法主要有以下幾種：

1、小角度檢查儀(正弦尺)標(biāo)定方法

用小角度檢查儀和標(biāo)準(zhǔn)量塊對電容測微儀的標(biāo)定方法是80年代末期，儀器計量部門針對具有有效測量面積的電容和電感測微儀而制定的一種標(biāo)定方法，其具體的工作原理如圖1-1所示。