儀器在測量中，由于受到諸多因素的影響，會產(chǎn)生一定的誤差，以下內(nèi)容針對EDX鍍層測厚儀產(chǎn)生測量誤差的原因作分析。

    1、不同鐵磁性材料或同一鐵磁性材料采用不同的熱處理方式和冷加工工藝后，其磁特性均有較大差異，而材料的磁特性差異會直接影響對磁鐵或檢測線圈的磁作用，為減小或消除磁特性差異產(chǎn)生的影響，應(yīng)采用磁特性與試樣基體相同或相近的金屬材料做為基體對儀器校準(zhǔn)。

    2、由于磁場在鐵磁性基體材料中的分布狀態(tài)在一定范圍內(nèi)與基體厚度密切相關(guān)，當(dāng)基體厚度達到某臨界厚度時，這種影響才能減小或忽略。若試樣基體厚度小于臨界厚度時，應(yīng)通過化學(xué)方法除去試樣的局部覆蓋層，利用試樣基體對儀器校準(zhǔn)。

    3、基體金屬曲率的變化將影響測量結(jié)果，曲率半徑越小，對測量結(jié)果的影響越大。當(dāng)測量曲率較小的試樣時，應(yīng)通過化學(xué)方法除去試樣的局部覆蓋層，利用試樣的無膜部分作為基體對儀器校準(zhǔn)。

    4、基體金屬表面粗糙度將影響測量結(jié)果，粗糙度程度增加，對測量結(jié)果的影響增大。應(yīng)對試樣基體多個位置進行零點校正，并在試樣不同位置上進行多次測量，測量次數(shù)至少應(yīng)增加到5次或以上，以減小影響。

    5、儀器對試樣表面的不連續(xù)敏感，太靠近試樣邊緣或內(nèi)轉(zhuǎn)角處測量時，磁場將會發(fā)生變化，測量結(jié)果將不可靠。因此，不要在靠近不連續(xù)的部位如邊緣、孔洞和內(nèi)轉(zhuǎn)角等處進行測量。

    6、對于較薄的覆蓋層，由于受儀器本身測量精度和覆蓋層表面粗糙度的影響，較難準(zhǔn)確測量覆蓋層厚度，尤其是當(dāng)覆蓋層厚度小于5μm的情況；對于較厚的覆蓋層，其測量結(jié)果相對誤差近似為一常數(shù)，誤差隨覆蓋層厚度增加而增大。

    7、金屬機械加工方向?qū)Σ牧系拇盘匦詴a(chǎn)生較大影響，當(dāng)使用雙式測頭或被磨損而不平整的單式測頭測量時，測量結(jié)果會受到磁性基體金屬機械加工（如軋制）方向的影響。因此，在試樣上測量時應(yīng)使測頭的方向與在校準(zhǔn)時該測頭所取方向一致。

    8、金屬材料由于磨削等加工方式可能帶來剩磁，影響儀器測量，試樣測量前應(yīng)進行消磁處理，并在互為180°的兩個方向上進行測量。