四探針電阻率測(cè)試儀校準(zhǔn)技術(shù)詳解

　　四探針電阻率測(cè)試儀產(chǎn)品概述

　　常用的是直線型四探針。四根探針的針尖在同一直線上，并且間距相等，都是S，一般采用0.5mm的間距，不同的探針間距需要對(duì)測(cè)量結(jié)果做相應(yīng)的校正。

　　一般目前的四探針電阻率(電導(dǎo)率)測(cè)試儀均已配置厚度的修正，通過(guò)厚度數(shù)值的設(shè)置，計(jì)算出不同的樣品厚度對(duì)電阻率的影響。

　　四探針電阻率測(cè)試儀技術(shù)參數(shù)如下：

　　1.測(cè)量方式： 電腦程序自動(dòng)測(cè)量，或不連電腦單測(cè)量主機(jī)也可實(shí)現(xiàn)測(cè)量和數(shù)據(jù)顯示，此時(shí)非常適合測(cè)試不規(guī)整樣片單點(diǎn)測(cè)量，適合實(shí)際研究需要。

　　2.測(cè)量的數(shù)據(jù)： 方塊電阻/電阻率/薄膜厚度，根據(jù)具體應(yīng)用可以設(shè)置不同測(cè)量程序。

　　3.測(cè)量的點(diǎn)數(shù)： 程序編排任意測(cè)量點(diǎn)位置及測(cè)量點(diǎn)數(shù)量，對(duì)應(yīng)不同客戶(hù)不同測(cè)量要求任意編程測(cè)量點(diǎn)位置與數(shù)量。

　　4.邊緣修正：具有邊緣修正功能，即片子邊緣3mm以?xún)?nèi)區(qū)域都能測(cè)量。

　　5.探針材料：鎢鋼與硅片的接觸電阻小，且耐磨。另外每跟針的軸套采用非常耐磨藍(lán)寶石材料，以確保長(zhǎng)時(shí)間使用后間距的一致性。