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單晶少子壽命測試儀可測量包括集成電路級硅單晶在內(nèi)的各種類型硅單晶
發(fā)布時間：2017-08-03瀏覽次數(shù)：1624返回列表
| 單晶少子壽命測試儀是參考美國 A.S.T.M 標準而設(shè)計的用于測量硅單晶的非平衡少數(shù)載流子壽命。半導(dǎo)體材料的少數(shù)載流子壽命測量，是半導(dǎo)體的常規(guī)測試項目之一。本儀器靈敏度較高，配備有紅外光源，可測量包括集成電路級硅單晶在內(nèi)的各種類型硅單晶，以及經(jīng)熱處理后壽命驟降的硅單晶、多晶磷檢棒的壽命測量等。 | ||
| 本儀器根據(jù)通用方法高頻光電導(dǎo)衰退法的原理設(shè)計，由穩(wěn)壓電源、高頻源、檢波放大器，特制的InGaAsp／InP紅外光源及樣品臺共五部份組成。采用印刷電路和高頻接插連接。整機結(jié)構(gòu)緊湊、測量數(shù)據(jù)可靠。 |
