MEMS傳感器是利用集成電路技術(shù)工藝和微機(jī)械加工方法將基于各種物理效應(yīng)的機(jī)電敏感元器件和處理電路集成在一個(gè)芯片上的傳感器。具有體積小、質(zhì)量輕、功耗低、靈敏度高、可靠性高、易于集成以及耐惡劣工作環(huán)境等，從而促進(jìn)了傳感器向微型化、智能化、多功能化和網(wǎng)絡(luò)化的方向發(fā)展。
 

  MEMS振動(dòng)傳感器可用于機(jī)械中的振動(dòng)和位移、轉(zhuǎn)子與機(jī)殼的熱膨脹量的長期監(jiān)測；生產(chǎn)線的在線自動(dòng)檢測和自動(dòng)控制；科學(xué)研究中的多種微小距離和微小運(yùn)動(dòng)的測量等。MEMS振動(dòng)傳感器已廣泛應(yīng)用于能源、化工、醫(yī)學(xué)、汽車、冶金，機(jī)器制造，軍工，科研教學(xué)等諸多領(lǐng)域。
 
  MEMS振動(dòng)傳感器作為獲取信息的關(guān)鍵器件，對(duì)各種傳感裝置的微型化起著巨大的推動(dòng)作用。隨著MEMS技術(shù)的快速發(fā)展使得MEMS傳感器受到各發(fā)達(dá)的廣泛關(guān)注，紛紛將MEMS傳感器技術(shù)作為戰(zhàn)略性的研究領(lǐng)域之一，并制定相關(guān)的計(jì)劃并投入巨資進(jìn)行專項(xiàng)研究。
 
  近期，光電子中心圓滿完成了清華大學(xué)科研成果——MEMS振動(dòng)傳感器樣品的檢測任務(wù)。
 
  MEMS振動(dòng)傳感器既是高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃(863計(jì)劃)制造裝備檢測用多功能微納傳感器專項(xiàng)的科研成果，也是針對(duì)武漢鍋爐股份有限公司關(guān)于在超高溫條件下監(jiān)測鍋爐內(nèi)振動(dòng)環(huán)境要求的研制成果。
 
  科研成果驗(yàn)收是科研創(chuàng)新的關(guān)鍵所在，檢驗(yàn)檢測則是科研成果驗(yàn)收的主要手段。MEMS振動(dòng)傳感器屬于科研成果，在還沒有相關(guān)的測試標(biāo)準(zhǔn)。按照該項(xiàng)目驗(yàn)收要求，光電子中心與項(xiàng)目科研人員充分溝通交流，結(jié)合相似類別設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)提出檢測方案，并通過檢測結(jié)果表明該傳感器已達(dá)到設(shè)計(jì)目標(biāo)，凸顯了檢驗(yàn)檢測對(duì)科技創(chuàng)新的基礎(chǔ)支撐作用。
 
  MEMS傳感器作為競爭戰(zhàn)略的重要標(biāo)志性產(chǎn)業(yè)，以其技術(shù)含量高、市場前景廣闊等特點(diǎn)備受各國的關(guān)注。近十年來，MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)生態(tài)系統(tǒng)也正逐步完善，從研發(fā)、設(shè)計(jì)、代工、封測到應(yīng)用，完整產(chǎn)業(yè)鏈已基本形成，對(duì)MEMS傳感器行業(yè)也給予了前所未有的政策支持。
 
  我國MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展面臨了重大的機(jī)遇，特別是移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)和物聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展，將對(duì)MEMS產(chǎn)業(yè)產(chǎn)生深遠(yuǎn)的影響，并將催生大量新的產(chǎn)品、新的應(yīng)用，帶動(dòng)MEMS產(chǎn)品在日常生活及工業(yè)生產(chǎn)中的普及化。